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 臭氧是一種強氧化劑，與還原態污染物反應時速度快，使用方便，不產生二次污染，可用于污水的消毒、除色、除臭、去除有機物和降低COD等。單獨使用臭氧氧化法造價高、處理成本昂貴，且其氧化反應具有選擇性，對某些鹵代烴及農藥等氧化效果比較差。   為此，近年來發展了旨在提高臭氧氧化效率的相關組合技術，其中UV/O3、H2O2/O3、UV/H2O2/O3等組合方式不僅可提高氧化速率和效率，而且能夠氧化臭氧單獨作用時難以氧化降解的有機物。由于臭氧在水中的溶解度較低，且臭氧產生效率低、耗能大，因此增大臭氧在水中的溶解度、提高臭氧的利用率、研制高效低能耗的臭氧發生裝置成為研究的主要方向。  

 低溫等離子體水處理技術，包括高壓脈沖放電等離子體水處理技術和輝光放電等離子體水處理技術，是利用放電直接在水溶液中產生等離子體，或者將氣體放電等離子體中的活性粒子引入水中，可使水中的污染物徹底氧化、分解。 水溶液中的直接脈沖放電可以在常溫常壓下操作，整個放電過程中無需加入催化劑就可以在水溶液中產生原位的化學氧化性物種氧化降解有機物，該項技術對低濃度有機物的處理經濟且有效。 此外，應用脈沖放電等離子體水處理技術的反應器形式可以靈活調整，操作過程簡單，相應的維護費用也較低。受放電設備的限制，該工藝降解有機物的能量利用率較低，等離子體技術在水處理中的應用還處在研發階段。